規 格

純 度(%)

不純物濃度(v/v)

N2

O2

H2

THC

H2O

高 純

99.999

≤5

≤2

≤1

≤2

≤4

純 氬

99.99

≤70

≤10

≤5

≤5

≤20

包　裝：通常采用40升鋼瓶（12～15MPa)，也可根據客戶需要，分裝到2～10升的氣瓶(10MPa)中。